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上海拜安半导体有限公司
地址:上海市嘉定区宝钱公路4500号1幢1层C区
邮编:201807
电话:021-58550298
简介:
上海拜安半导体有限公司成立于2022年2月,坐落于嘉定区综合保税区内。公司技术团队历时十多年自主研发的MEMS光纤传感器从制造工艺上实现了硅衬底-SOI敏感结构-光学介质膜-玻璃衬底-光学介质膜-硅封装孔的异质巨集成,从而实现光谱干涉仪的MEMS芯片化制造,使MEMS传感器从电子式(压阻、压电、电容、谐振)、光电式(CMOS图像传感器)到光学干涉式的升级换代发展。
公司首次实现光波长编码式传感器的MEMS制造,具有世界原创性和引领性。
现已实现温度、压力、应变、加速度、位移等多种MEMS光纤传感器的产品化。例如,MEMS光纤压力传感器的性能已接近并部分优于英国德鲁克产品,MEMS光纤加速度传感器的主要性能已达到或超过美国恩德福克、美国PCB公司产品。